虹科EtherCAT方案在涂胶机器人控制系统的应用

涂胶机在圆晶制造前道工艺中是光刻工艺重要环节的设备。通过结合EtherCAT技术和虹科KPA Automaotion softPLC技术,可以解决机器人各个涂胶的强耦合问题,并通过现代先进的工业计算机技术,解决高精度的复杂算法难以在运动控制卡上实现较高实时性的问题。

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