虹科EtherCAT方案在涂胶机器人控制系统的应用
涂胶机在圆晶制造前道工艺中是光刻工艺重要环节的设备。通过结合EtherCAT技术和虹科KPA Automaotion softPLC技术,可以解决机器人各个涂胶的强耦合问题,并通过现代先进的工业计算机技术,解决高精度的复杂算法难以在运动控制卡上实现较高实时性的问题。
涂胶机在圆晶制造前道工艺中是光刻工艺重要环节的设备。通过结合EtherCAT技术和虹科KPA Automaotion softPLC技术,可以解决机器人各个涂胶的强耦合问题,并通过现代先进的工业计算机技术,解决高精度的复杂算法难以在运动控制卡上实现较高实时性的问题。
晶圆清洗机的主要部件通常包括IPC+HMI、机械臂、伺服电机、步进电机、以及各种传感器、电磁阀等模块,结合虹科的IPC、EtherCAT接口卡和IO模块,可以轻松实现“一网到底”的系统设计。
本案例中采用了虹科HK-EX系列高性能运动控制器以及HK-MXB系列经济型EtherCAT IO模块,用于采集传感器、工业相机的数据和控制电磁阀。